离线X光检测
为产线准备的高质量X光检测方案
Quadra 3 Pro 拥有强大的X射线检测性能。
设备可以拍摄高达—百六十万像素的超高品质 X光图像， 并点对点地显示在—个超宽曲面显示器上。我们用先进的科技，确保锐利的画质，不让您错过任何细节。
高质量
Quadra 3Pro是您进行高标准X光检测时可靠的工具与伙伴。它能为产线的质量控制应用提供足够高的放大倍率。可以有效地检测到一系列生产时会发生的缺陷。 比如BGA、QFN或者IGBT芯片贴装时的问题，PTH锡的填充情况，结合面的空洞，元件的 开裂以及用于甄别仿冒品。
开拓性的软件
Revalution控制软件具有简单直观的菜单及控制功能，便于快速开展工作。主界面布局可自定义， 每个操作员都可保存自己习惯的布局，以获得更流畅的操作体验。提供自定义滤镜和图像增强功能，满足您的应用 需求。通过鼠标简单的点击，即可迅速地完成缺陷分析，或生成自动化检查程序。
清晰度优秀
Onyx 由我们的半导体专家团队自主设计研发， 致力于提供先进强大的性能。成像单元拥有优秀的规格表现，可同时兼顾低光照时所需的高敏感性以及高照度时所需的耐饱和性。Onyx 具有更高帧率、更低噪声，能更快速地为您提供更清晰的图像。
规格参数
| Onyx Gadox 检测器 |
| 像素分辨率 |
1.6 MP |
| 帧率 |
25 fps |
| 有效像素尺寸 |
70µm |
| 有效成像面积 |
7800 平方mm |
| X射线管 |
| 光管类型 |
Mk4 15W密封式透射管 |
| 特征分辨率 |
<750nm |
| 最大靶功率 |
15W |
电压： |
30 - 160千伏 |
| 检测 |
| 斜角视图 |
2 X 70° - 无需旋转样品，可实现样品360° 观察 |
| 防振 |
被动减震 |
| 可检测区域 |
510 x 445 mm (20 x 17.5英寸） |
| 几何放大倍率 |
2000倍 |
图像色深 |
16位 |
| 显示器 |
34英寸超宽显示器 (3440 X 1440) |
| 系统 |
| 设备尺寸 |
1570(宽）X 1500(深）X 1900(高）mm |
| 系统重量 |
1950 kg |
| 电源 |
单项200至230V交流电，50/60Hz, 16A |
| 能耗 |
1kW |
气源 |
5-8 巴清洁干燥的空气，用于防振（仅用于微CT的配置） |
| 运行温度 |
10-30°C |
| 湿度 |
<85% (无冷凝水附着） |
| 操作方式 |
鼠标点击 |
| 软件 |
Revalution |
| 操作系统 |
Windows 64位操作系统 |
| X 射线安全性 |
<1微西弗/小时，符合所有相关的国际标准 |
| 可选配件 |
| X-Plane |
无需额外硬件实现平面 CT扫描 |
| µCT |
使用µCT平台，创建高分辨率的三维模型 |
| 条形码读取器 |
轻松完成产品追溯 |
| 操纵杆 |
USB 接口的操纵杆模块 |
辐射过滤盘 |
降低样品暴露于X射线下的剂量 |
| 晶圆托盘 |
用于放置300mm和200mm 晶圆
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